Ħarsa ġenerali tal-prodott
SCD6 u SCD6S huma sistemi kompatti ta 'spin coater u żviluppaturi ta' 6 pulzieri awtomatiċi għal semikondutturi komposti, apparat tal-enerġija, MEMS u manifattura optoelettronika.
SCD6: Immirat għall-apparat tal-enerġija u l-produzzjoni tal-LED. Jadotta struttura kompatta, jappoġġja sottostrati bħal Si, Sapphire, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN, u joqgħod G-linja / i-proċessi tal-linja.
SCD6S: Orjentat lejn MEMS, ċirkwit integrat RF, komunikazzjoni ottika u riċerka fil-laboratorju. Tespandi l-kompatibilità tal-materjal mal-Ħġieġ, u żżid il-kapaċità tal-proċess tal-PI, u tagħti flessibbiltà ogħla għal diversi kompiti ta' R&D u ta' produzzjoni pilota-.
Iż-żewġ mudelli għandhom footprint żgħir, kompatibilità ta' daqs-doppju mingħajr sostituzzjoni tal-parti, għalf preċiż tal-pompa tal-kejl tal-fotoreżist, u funzjonijiet komprensivi mibnija-bħal EBR, BSR u tindif awtomatiku ta' żennuna-.
Vantaġġi
Id-divrenzjar tal-mudelli għal xenarji differenti SCD6 jottimizza għall-produzzjoni tal-enerġija/LED tal-massa-; SCD6S iżid l-appoġġ tal-proċess PI u tas-sottostrat tal-ħġieġ-għall-utenti orjentati lejn MEMS, RF u riċerka-.
Moduli flessibbli fakultattivi Jappoġġaw il-kontroll tat-temperatura tal-fotoreżistenti / tal-iżviluppatur, il-modulu tal-priming tal-fwar HMDS biex jaqbel ma 'rekwiżiti differenti tal-proċess.
Kapaċità ta' traċċabilità kompluta -Ħażna fit-tul għar-reġistri tal-fallimenti tat-tagħmir u r-rekords tal-parametri tal-proċess, konvenjenti għat-traċċar tal-kwalità u l-analiżi tal-proċess.
Funzjonijiet ta 'proċess standard komprensivi Mibnija-f'EBR, BSR, RRC, żennuna tal-kolla funzjonijiet awtomatiċi ta' moisturizing u tindif biex jiżguraw kwalità tal-litografija stabbli.
-Konsenja ta 'fotoreżistenti ta' preċiżjoni għolja Pompa ta 'kejl ta' preċiżjoni għall-provvista ta 'fotoreżistenti, preċiżjoni għolja ta' dożaġġ u tmigħ likwidu stabbli; setup faċli tar-riċetta għall-volum tad-distribuzzjoni.
Parametri
|
Oġġett |
SCD6 |
SCD6S |
|
Mudell |
SCD6 6-pulzier Spin Coater & Developer |
SCD6S 6-inch Spin Coater & Developer |
|
Daqs tal-wejfer |
6-pulzier (150 mm), daqs doppju kompatibbli mingħajr sostituzzjoni tal-parti |
6-pulzier (150 mm), daqs doppju kompatibbli mingħajr sostituzzjoni tal-parti |
|
Materjal tas-sottostrat |
Si, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, Ħġieġ, Żaffir |
|
Konfigurazzjonijiet tal-Kamra |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Proċess Litografiku Appoġġjat |
G-linja, i-linja |
G-linja, i-linja, PI |
|
Dimensjoni tat-Tagħmir (W × D × H) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Unitajiet Fakultattivi |
Photoresist / kontroll tat-temperatura tal-iżviluppatur, modulu HMDS |
Photoresist / kontroll tat-temperatura tal-iżviluppatur, modulu HMDS |
|
Core mibnija-fil-funzjonijiet |
EBR, BSR, RRC, żennuna awto-umidifika u tindif |
EBR, BSR, RRC, żennuna awto-umidifika u tindif |
|
Modalità ta' Kontroll |
Kontroll lokali,-riċetta fit-tul u ħażna ta' log tal-ħsarat |
Kontroll lokali,-riċetta fit-tul u ħażna ta' log tal-ħsarat |
|
Ċertifikazzjoni |
Konformi ma 'SEMI S2 |
Konformi ma 'SEMI S2 |
Faqs
Q: X'inhi d-differenza bejn SCD6 u SCD6S?
A: SCD6 huwa ottimizzat għall-apparat ta 'l-enerġija u l-produzzjoni tal-massa LED, li jappoġġja substrati semikondutturi komposti diversi (Sapphire, GaN, SiC eċċ.) bi proċessi ta' linja G / i linja. SCD6S iżid il-kapaċità tal-proċess PI u l-kompatibilità tas-sottostrat tal-ħġieġ, aktar adattat għal MEMS, RF IC, komunikazzjoni ottika u xenarji ta 'R&D tal-laboratorju. Il-konfigurazzjonijiet tal-kamra u d-dimensjonijiet fiżiċi huma wkoll differenti.
Q: SCD6 / SCD6S jappoġġjaw il-bidla tad-daqs tal-wejfer?
A: Iva. Iż-żewġ mudelli jappoġġjaw il-kompatibilità ta 'daqs doppju mingħajr ma jissostitwixxu l-ispare parts, u jqassru l-ħin tal-bidla tal-prodott.
Q: Liema moduli fakultattivi jistgħu jintgħażlu?
A: Modulu ta 'kontroll tat-temperatura ta' Photoresist & iżviluppatur, modulu ta 'priming HMDS huma disponibbli kemm għal SCD6 kif ukoll għal SCD6S.
Q: Il-magna tista 'taħżen il-proċess u l-istorja tal-ħsarat?
A: Iva. Il-parametri tal-proċess u r-rekords tal-ħsarat fit-tagħmir jistgħu jiġu ssejvjati fit-tul għal traċċar ta 'kwalità u debugging tal-proċess.
Q: Huma adattati għall-produzzjoni tal-massa jew għall-użu fil-laboratorju biss?
A: It-tnejn jappoġġjaw il-produzzjoni tal-massa ta 'lott żgħir kif ukoll lR&D tal-laboratorju. SCD6 huwa aktar orjentat lejn il-manifattura tal-volum tal-enerġija / LED; SCD6S jaqbel ma 'proġetti pilota ta' produzzjoni u riċerka.
It-tags Popolari: 6 pulzieri spin-coater u żviluppatur, Ċina 6 pulzieri spin-coater u żviluppaturi manifatturi, fornituri
