Ħarsa ġenerali tal-prodott

Wafer Inspection Microscope tagħna sistema intelliġenti ta 'spezzjoni ottika ddisinjata għal wejfers semikondutturi, pannelli tal-wiri, ċelloli solari, u applikazzjonijiet industrijali ta' preċiżjoni oħra. Tgħaqqad immaġini ottiċi ta 'kwalità għolja, kontroll tal-moviment motorizzat, teknoloġija autofocus, u funzjonijiet avvanzati ta' analiżi ta 'immaġni, is-sistema tipprovdi soluzzjonijiet ta' spezzjoni preċiżi u effiċjenti għal sejbien ta 'difetti mikroskopiċi, kejl u analiżi ta' difetti mikroskopiċi. u moduli ta 'spezzjoni flessibbli, Miracle Inspection tippermetti lill-utenti josservaw, ikejlu, jillokalizzaw u jimmarkaw id-difetti fil-livell mikro. Jappoġġja modi ta 'osservazzjoni multipli inklużi kamp qawwi, kamp skur, polarizzazzjoni, fluworexxenza u DIC, li jagħmilha adattata għal diversi rekwiżiti ta' spezzjoni ta 'materjal u proċess.

Vantaġġi

Immaġini Ottiċi ta'-Riżoluzzjoni Għolja

Is-sistema tuża l-ottika tal-mikroskopju professjonali biex tipprovdi stampi ċari u dettaljati għal spezzjoni u analiżi preċiżi.

Autofocus u Kontroll Motorizzat

Il-modulu autofocus u l-istadju XYZ motorizzat jgħinu lill-utenti jillokalizzaw malajr iż-żoni ta 'spezzjoni u jżommu fokus stabbli waqt it-tħaddim.

Modi ta' Spezzjoni Multipli

Jappoġġja kamp qawwi, kamp skur, polarizzazzjoni, fluworexxenza u modi ta 'osservazzjoni DIC biex jissodisfaw rekwiżiti ta' spezzjoni differenti.

Funzjoni tal-Immarkar tad-Difett

B'modulu tal-immarkar bil-lejżer fakultattiv, id-difetti misjuba jistgħu jiġu mmarkati fiżikament fuq kampjuni għal aktar analiżi u titjib tal-proċess.

Ħjata tal-Immaġni u Fond tal-Fużjoni tal-Qasam

Funzjonijiet avvanzati tal-ipproċessar tal-immaġini jippermettu immaġini multipli li jiġu kkombinati f'żona kbira-jew immaġini ffukati bis-sħiħ, u jtejbu l-effiċjenza tal-ispezzjoni.

Operazzjoni Flessibbli u Faċli

Il-fluss tax-xogħol integrat jgħaqqad l-immaġini, il-kejl, l-analiżi u l-funzjonijiet ta 'rappurtar, inaqqas il-passi ta' tħaddim manwali u jtejjeb il-konsistenza tal-ispezzjoni.

Applikazzjoni

Spezzjoni tal-wejfer tas-semikondutturi

Spezzjoni ta 'difetti fil-wiċċ ta' wejfers tas-semikondutturi
Sejbien ta 'partiċelli, grif, xquq, u mudelli anormali
Monitoraġġ tal-proċess tal-wejfer wara litografija, inċiżjoni, depożizzjoni, u CMP
Analiżi tal-fallimenti u reviżjoni tad-difetti

Spezzjoni tal-Panew tal-Wiri

Spezzjoni ta 'sottostrati tal-ħġieġ u materjali tal-pannelli
Sejbien ta 'difetti mikro u kontroll tal-kwalità
Analiżi tal-mudell u tal-wiċċ

Spezzjoni taċ-Ċelloli Solari

Spezzjoni tal-wiċċ ta 'wejfers solari
Mikro xquq u identifikazzjoni tad-difetti
Evalwazzjoni tal-kwalità tal-proċess

Riċerka u Analiżi tal-Laboratorju

Analiżi tal-materjal
Osservazzjoni tal-mikrostruttura
Kejl u dokumentazzjoni tal-kampjun

Speċifikazzjonijiet

Oġġett	Speċifikazzjoni
Tip ta' Spezzjoni	Sistema ta 'spezzjoni tal-mikroskopju ottiku
Applikazzjoni	Wejfer semikonduttur, pannell tal-wiri, ċellula solari, materjali ta 'preċiżjoni
Kompatibilità tal-wejfer	Wejfer ta' 4 pulzieri / 6 pulzieri / 8 pulzieri (mhux obbligatorju)
Sistema Ottika	Sistema ottika tal-mikroskopju ZEISS
Modi ta' Osservazzjoni	Kamp qawwi, kamp skur, DIC, polarizzazzjoni, fluworexxenza (mhux obbligatorju)
Autofocus	Appoġġjati
Stadju tal-Mozzjoni	Stadju XYZ motorizzat
XY Preċiżjoni	Inqas minn jew ugwali għal 2 μm
Preċiżjoni tal-Aġġustament Fine tal-assi Z-	Inqas minn jew ugwali għal 1 μm
Immaġini	Kompatibbli mas-serje ZEISS Axiocam u kameras ta'-partijiet terzi
Funzjonijiet tal-Kejl	Tul, angolu, dijametru, u kejl ġeometriku
Ipproċessar tal-Immaġni	Ħjata tal-immaġini, fużjoni fil-fond tal-kamp, analiżi tal-immaġni
Immarkar tad-Difett	Modulu tal-immarkar tad-difetti bil-lejżer (mhux obbligatorju)
Immaniġġjar tal-wejfer	Modulu awtomatiku tat-tagħbija u tal-ħatt (mhux obbligatorju)