Ħarsa ġenerali tal-prodott
LPCVD (Deposizzjoni tal-Fwar Kimika ta' Pressjoni Baxxa) hija teknoloġija tal-proċess ta' semikonduttur tal-qalba-taħt kundizzjonijiet ta' pressjoni-baxxa, issaħħan komposti gassużi biex iqanqlu reazzjonijiet, u jiddepożita films irqaq solidi stabbli fuq uċuħ tas-sottostrat. Huwa prinċipalment użat biex jagħmel films ewlenin bħal nitrur tas-silikon, ossidu tas-silikon u silikon polikristallin, u jidħol sew fil-ħtiġijiet tal-proċess ċentrali ta 'ċirkwiti integrati, apparati optoelettroniċi, u oqsma simili.
Il-mudelli LPCVD Orizzontali u Vertikali ta' EXWELL żviluppati b'mod indipendenti t-tnejn jispikkaw b'kontroll tat-temperatura ta'-preċiżjoni għolja u uniformità tal-film tal-ogħla-talja. Kemm jekk qed tagħmel verifika tar-R&D jew li żżid il-produzzjoni fuq-skala kbira, huma għandhom inti kopert. L-LPCVD Orizzontali jista 'jaqleb bejn ossidazzjoni, diffużjoni, ittemprar, u proċessi oħra mingħajr xkiel-perfett għall-produzzjoni tal-lott u kontrolli tal-proċess fuq wejfers ta' 8 pulzieri u iżgħar.
L-LPCVD Vertikali jmur għal disinn modulari flimkien ma' integrazzjoni awtomatizzata, li tkopri specs tal-wejfer ta' 6-12-il pulzier. Huwa aħjar għal linji ta 'produzzjoni intelliġenti li jeħtieġu depożizzjoni effiċjenti. Flimkien, dawn iż-żewġ mudelli jagħtu soluzzjonijiet stabbli u affidabbli ta' depożizzjoni ta' pressjoni baxxa-għall-manifattura tas-semikondutturi-ebda installazzjoni mħawda, biss prestazzjoni konsistenti meta tkun importanti.
Applikazzjonijiet
Iż-żewġ mudelli huma użati b'mod wiesa' f'ċirkwiti integrati (ICs), apparati optoelettroniċi, u oqsma ta' semikondutturi -bandgap wiesgħa-li jkopru kollox mill-verifika tal-R&D sal-produzzjoni tal-massa-skala sħiħa:
Manifattura IC:
Jipprepara ossidi tal-bieb u dielettriċi ta 'saff ta' bejn is-saffi għal CMOS, IGBT, u ċipep simili. Huwa pass ewlieni biex jiġi żgurat li l-prestazzjoni taċ-ċippa tolqot il-marka.
Produzzjoni Optoelettronika:
Jiddepożita films ottiċi għall-apparati VCSEL, tweaking kemm il-proprjetajiet ottiċi kif ukoll elettriċi biex jaħdmu aħjar.
Ipproċessar-Bandgap Wide:
Jaħdem bla xkiel mad-depożizzjoni tal-film irqiq tal-karbur tas-silikon (SiC)-, li jaqbel mal-ħtiġijiet tal-apparati tal-enerġija b'temperatura għolja-.
Riċerka Xjentifika:
Jappoġġja-esperimenti ta' lottijiet żgħar-sew jekk qed tittestja materjali ġodda bħal nijobat tal-litju jew proċessi ġodda bħad-depożizzjoni ta' film ta' ċippa kwantistika.
Vantaġġi
1. -Depożizzjoni ta 'Kwalità Għolja: Kontroll tat-temperatura professjonali u kmamar nodfa jiggarantixxu depożizzjoni uniformi tal-film-Mudelli orizzontali milquta Inqas minn jew ugwali għal ±2% uniformità, Dawk Vertikali Inqas minn jew ugwali għal ±3%.
2. Adattabilità qawwija: Mankijiet multipli ta 'tipi ta' film irqiq-u daqsijiet varji tal-wejfer (Mass orizzontali 'l barra fi 8 pulzieri, Vertikali tkopri 6-12 pulzier).
3. Operazzjoni Stabbli: L-istruttura matura tal-mudell Orizzontali u d-disinn affidabbli taż-żewġ mudelli jħalluhom jaħdmu kontinwament għal żmien twil, u jnaqqas il-ħin ta 'waqfien.
4. Tibdil tal-Proċess Flessibbli: Flips faċilment bejn ossidazzjoni, diffużjoni, ittemprar, u proċessi oħra-perfetti għal xogħol ta 'verifika ta' multi-proċess.
5. Modulari & Awtomatizzat: Mibnija b'disinn modulari u integrazzjoni awtomatizzata, huma jgħaqqdu bla xkiel għal linji ta 'produzzjoni intelliġenti. Il-mudell Vertikali wkoll jidħol sew fil-bżonnijiet tal-produzzjoni tal-massa tal-wejfer ta '12-il pulzier.
Parametri
|
Daqs tal-wejfer |
6-12 pulzier |
|
Firxa tat-temperatura |
500 grad -800 grad |
|
kontroll tat-temperatura eżattezza |
Inqas minn jew ugwali għal ± 0.5 grad |
|
Flatzone |
300-1000 mm customizable |
|
Uniformità tal-ħxuna tal-film |
WIW Inqas minn jew ugwali għal ±3%;WTW Inqas minn jew ugwali għal ±3% |
FAQ
Meta niġu għall-kompatibilità tad-daqs tal-wejfer, x'inhi d-differenza ewlenija bejn LPCVD Orizzontali u Vertikali?
L-LPCVD Orizzontali jaħdem b'wejfers ta' 8-pulzier u iżgħar, filwaqt li LPCVD Vertikali jkopri firxa usa'-6 sa 12-il pulzier. Dan jagħmel il-mudell vertikali għażla aħjar għal wejfers ta 'daqs kbir li jipproduċu bil-massa.
Jistgħu ż-żewġ sistemi jiddepożitaw films irqaq lil hinn minn nitrur tas-silikon, ossidu tas-silikon u silikon polikristallin?
Bħalissa, dawk it-tliet films irqaq huma l-fokus ewlieni tagħhom. Imma jekk għandek bżonn films speċjali, nistgħu naħdmu soluzzjonijiet personalizzati bbażati fuq il-ħtiġijiet speċifiċi tal-proċess tiegħek.
F'liema firxa ta' temperatura joperaw dawn iż-żewġ apparati LPCVD?
Huma pjuttost simili-it-tnejn jimxu bejn 500 grad u 800 grad . Din il-firxa taqbel perfettament mal-proċess ta' depożizzjoni tal-fwar kimiku bi pressjoni baxxa-għall-biċċa l-kbira tal-films irqaq tas-semikondutturi mainstream.
Għal istituzzjonijiet ta' riċerka xjentifika, liema għażla LPCVD taħdem aħjar?
LPCVD orizzontali huwa l-mod biex imorru hawn. Jista' jaqleb bejn proċessi bħall-ossidazzjoni, id-diffużjoni u l-ittemprar-super handy biex jintlaħqu l-ħtiġijiet diversi ta' proġetti ta' riċerka ta'-lottijiet żgħar.
Kif tagħmel ċert li l-films irqaq minn dawn iż-żewġ apparati huma uniformi?
It-tnejn jiġu b'sistemi preċiżi ta' kontroll tat-temperatura, li hija essenzjali għal temp stabbli f'ambjenti ta'-pressjoni baxxa. Għal dak orizzontali, aħna tweak parametri tal-proċess biex tingħata spinta lill-uniformità; il-mudell vertikali juża fluss ta 'arja kkoordinat u disinn tal-kamp tat-temperatura. Tipikament, hits orizzontali Inqas minn jew ugwali għal ±2% uniformità, vertikali madwar Inqas minn jew ugwali għal ±3%.
Iż-żewġ apparati jilagħbu sbieħ b'linji ta 'produzzjoni intelliġenti?
L-LPCVD vertikali huwa mibni għal integrazzjoni awtomatizzata, għalhekk jidħol sew f'linji intelliġenti u jżid l-effiċjenza. L-LPCVD orizzontali jipprijoritizza l-flessibbiltà tal-proċess, għalhekk huwa inqas integrat ma' sistemi intelliġenti-iżda xorta jkopri l-produzzjoni bażika u l-ħtiġijiet ta' R&D.
Kemm-il darba dawn iż-żewġ apparati jeħtieġu manutenzjoni?
Normalment, il-manutenzjoni hija meħtieġa kull 6 sa 12-il xahar-affarijiet bħal tindif tal-kavità u kalibrar tas-sistema ta 'kontroll tat-temperatura. Iż-żmien eżatt jiddependi minn kemm tużah u kemm huma kumplessi l-proċessi tiegħek, iżda t-tim tagħna ta' wara-bejgħ jibgħat tfakkiriet regolarment.
L-LPCVD Orizzontali huwa biss għall-R&D, jew jista 'jimmaniġġja l-produzzjoni tal-massa wkoll?
Jagħmel it-tnejn tajjeb. Huwa flessibbli biżżejjed għal -R&D ta' lott żgħir, u l-istruttura matura u affidabbli tagħha (ppruvata fis-suq) tappoġġja wkoll il-produzzjoni tal-massa ta 'wejfers ta' 8-pulzier u iżgħar - kbira għal setups li jeħtieġu proċessi multipli magħquda.
It-tags Popolari: lpcvd tagħmir, iċ-Ċina lpcvd tagħmir manifatturi, fornituri
