Ħarsa ġenerali tal-prodott
Dan it-Tagħmir ta 'Deposizzjoni ta' Raġġ ta 'Ion huwa sistema ta' depożizzjoni ta 'film irqiq ta'-preċiżjoni għolja ddisinjata għall-preparazzjoni ta 'wajer tal-metall u films irqaq ta' kuntatt ohmiku fil-manifattura ta 'apparat infra-aħmar. Huwa mfassal biex jiddepożita films irqaq ta '-kwalità għolja ta' Cr, Pt, Au, Cu, Ti, Ag u metalli oħra fuq uċuħ tal-wejfer, li jipprovdi soluzzjoni affidabbli u effiċjenti għall-fabbrikazzjoni ta 'saffi ta' kuntatt kritiċi f'apparat optoelettroniku.
Vantaġġi
Deposizzjoni ta 'Film ta' Adeżjoni Għolja: Jadotta arkitettura ta' sors doppju-jone b'teknoloġija ta' depożizzjoni awżiljarja, li ttejjeb b'mod sinifikanti l-adeżjoni tal-films irqaq depożitati, u tiżgura stabbiltà u affidabilità fit-tul-saffi tal-kuntatt tal-apparat.
Kontroll Preċiż tat-Temperatura: Karatteristiċi ta '-sistema ta' kontroll tat-temperatura tal-istadju tal-wejfer ta 'firxa wiesgħa (10 grad ~ 80 grad), li tippermetti regolazzjoni preċiża tat-temperatura tad-depożizzjoni biex tottimizza l-kwalità u l-uniformità tal-film.
Angoli ta' Depożizzjoni Flessibbli: Mgħammar b'disinn tal-istadju tal-biċċa tax-xogħol b'ħafna -angoli, li jista 'jissodisfa r-rekwiżiti ta' depożizzjoni ta 'film irqiq f'angoli differenti, jadatta għal struttura ta' apparat u ħtiġijiet differenti tal-proċess.
Uniformità tal-Proċess Eċċellenti: Tagħti uniformità superjuri tal-ħxuna tal-film (aħjar minn ± 5% fi ħdan il-wejfer u bejn il-wejfers), li tiżgura prestazzjoni konsistenti fil-wejfer kollu u l-lott-għal-riproduċibbiltà tal-lott.
Kompatibilità Kbir Ipproċessar: Jappoġġja daqsijiet tal-wejfer sa 8 pulzieri, kompatibbli mal-ispeċifikazzjonijiet tal-wejfer mainstream fl-industrija, li jissodisfaw il-ħtiġijiet tal-produzzjoni ta 'apparati ta' skala medja u kbira-.
Applikazzjonijiet
It-tagħmir huwa primarjament użat fil-industrija tal-apparat infra-aħmar, speċifikament għall-preparazzjoni ta 'wajer tal-metall u films irqaq ta' kuntatt ohmiku. Tissodisfa r-rekwiżiti ta 'deposizzjoni ta' film irqiq għal diversi materjali tal-metall (Cr, Pt, Au, Cu, Ti, Ag) fuq uċuħ tal-wejfer, li jappoġġja l-produzzjoni ta '-komponenti optoelettroniċi infra-aħmar ta' prestazzjoni għolja.
FAQ
Q: 1. Għalxiex jintuża t-tagħmir tad-depożizzjoni tar-raġġ tal-joni?
A: Jiddepożita Cr, Pt, Au, Cu, Ti, Ag films irqaq fuq wejfers għal wajers tal-metall u kuntatti ohmiċi f'apparat infra-aħmar.
Q: 2. X'inhuma l-vantaġġi tad-disinn tas-sors tal-jone doppju-?
A: Isaħħaħ l-adeżjoni tal-film, itejjeb l-uniformità, u jappoġġja t-tkabbir tal-film irqiq-għoli u stabbli.
Q: 3. Liema daqs tal-wejfer jappoġġja?
A: Jappoġġja wejfers sa 8 pulzieri, kompatibbli mal-ispeċifikazzjonijiet tal-industrija mainstream.
Q: 4. X'inhi l-firxa tat-temperatura tal-istadju tax-xogħol?
A: Il-firxa tat-temperatura hija minn 10 grad sa 80 grad għal kontroll preċiż tal-proċess.
Q: 5. Kif hija l-uniformità tal-ħxuna tal-film?
A: L-uniformità hija aħjar minn ± 5% fi ħdan wejfer u lott-għal-lott.
Q: 6. Liema metalli jista 'jiddepożita?
A: Jiddepożita Cr, Pt, Au, Cu, Ti, Ag u films irqaq tal-metall simili.
Q: 7. Huwa adattat għall-produzzjoni ta 'apparat infra-aħmar?
A: Iva, hija ddisinjata għal kuntatt ta 'apparat infra-aħmar u preparazzjoni tal-film taċ-ċomb.
It-tags Popolari: sistema ibd, manifatturi tas-sistema ibd taċ-Ċina, fornituri


