Ħarsa ġenerali tal-prodott

Nice-Tech toffri żewġ sistemi ta' inċiżjoni tal-metall tal-produzzjoni-massa għal daqsijiet differenti ta' wejfer, it-tnejn ibbażati fuq teknoloġija ICP u mfassla apposta għall-ipproċessar tal-metall IC back-(BEOL).

Sistema ta' 12-il pulzier MES 12

Iffoka fuq sub-0.18μm interkonnessjonijiet Al ta 'densità għolja f'IC BEOL ta' 12-il pulzier. Jinkludi kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP, kmamar tad-descum, u modulu ta 'trasferiment, u jappoġġja wkoll l-inċiżjoni tal-kuxxinett Al.

Sistemi 8-Inch MES 8

Żewġ mudelli disponibbli-MES 800 (Inqas minn jew ugwali għal 8% fi-wejfer/ Inqas minn jew ugwali għal 5% wejfer-għa{-uniformità tal-wejfer, 8,000 biċċa/xahar għal 4μm Al) u MES 800P ( Inqas minn jew ugwali għal-% jew ugwali għal{{12}% jew daqs- wejfer-għal-uniformità tal-wejfer, 20,000 biċċa/xahar għal 0.1μm Al, 400 RF-h MTBC)

Vantaġġi

Preċiżjoni Għolja & Stabbiltà

Sistema ta '12-pulzier toqgħod taħt proċessi ta' 0.18μm; M2 ta '8 pulzieri joffri uniformità aħjar u tħaddim stabbli itwal (400 RF-h MTBC).

Kapaċità u Effiċjenza fl-Ispejjeż

Sistema ta' 12-pulzier isservi linji ta'-skala kbira-high; Mudelli ta '8 pulzieri jipprovdu kapaċità flessibbli (8,000–20,000 biċċa / xahar) b'disinn li jiffranka l-ispazju.

Kompatibilità Wiesgħa

Sistema ta '12-il pulzier tkopri interkonnessjonijiet/pads Al; Sistemi ta '8 pulzieri jappoġġjaw W recess, u Kessel Pishow M huwa kompatibbli ma' wejfers ta '6 pulzieri permezz ta' ESC fakultattiv.

Applikazzjonijiet

Interkonnessjonijiet tal-metall IC BEOL

Sistema ta '12-il pulzier għal sub-0.18μm 12-il pulzier Al interconnects/pads; Sistemi ta '8 pulzieri għall-ipproċessar ta' Al ta '8 pulzieri (M2 għal nodi ta' 0.1μm).

Multi-Ipproċessar ta' Daqs/Proċess

MES 800 ta’ 8 pulzieri joqgħod għal wejfers ta’ 6 pulzieri; iż-żewġ mudelli ta '8 pulzieri jappoġġjaw W recess.

Aġġornament tal-Kapaċità

Is-sistema ta' 12-pulzier tgħin l-espansjoni tal-kapaċità għolja-fabs kbar; Mudelli ta' 8-pulzieri (M għal linji ta' nofs iż-żgħar, M2 għal skalar ta' effiċjenza għolja).

Parametri

Kategorija	Sistema ta' inċiżjoni tal-metall ta' 12-il pulzier (MES 12)	Sistema ta' inċiżjoni tal-metall ta' 8 pulzieri (MES 800)	Sistema ta 'inċiżjoni tal-metall ta' 8 pulzieri (MES 800P)
Kompatibilità tal-wejfer	Wejfers IC ta '12-il pulzier (300mm); imfassla għal nodi tat-teknoloġija sub-0.18μm	Wejfers IC ta '8 pulzieri; kompatibbli ma 'wejfers ta' 6 pulzieri permezz ta 'ESC fakultattiv	Wejfers IC ta '8 pulzieri; ottimizzat għal nodi tat-teknoloġija 0.1μm
Konfigurazzjoni tal-Kamra	Kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP + kmamar tad-descum + modulu tat-trasferiment	Kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP + modulu tat-trasferiment	Kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP + modulu tat-trasferiment
Kapaċitajiet Ewlenin tal-Proċess	Inċiżjoni tal-interkonnessjoni tal-Al ta'-densità għolja, inċiżjoni tal-kuxxinett tal-Al (proċessi BEOL)	Inċiżjoni tal-interkonnessjoni Al, inċiżjoni tal-kuxxinett Al, W Recess	Inċiżjoni ta' interkonnessjoni Al ta'-preċiżjoni għolja, inċiżjoni tal-kuxxinett Al, W Recess
Inċiżjoni Uniformità	L-industrija-mexxejja fil-kontroll tal-uniformità għal proċessi ta' densità għolja ta' taħt-0.18μm	Inqas minn jew ugwali għal 8% fi ħdan-wejfer; Inqas minn jew ugwali għal 5% wejfer-għa-wejfer	Inqas minn jew ugwali għal 5% fi ħdan-wejfer; Inqas minn jew ugwali għal 3% wejfer-għa-wejfer
Kapaċità ta 'kull xahar	Ottimizzat għall-produzzjoni tal-massa IC BEOL ta' 12-il pulzier-high-end (li tqabbel il-produzzjoni kbira tal-fabbrika)	Sa 8,000 biċċa/xahar (għal inċiżjoni Al ta' 4μm-ħxuna)	Sa 20,000 biċċa/xahar (għal 0.1μm-node Al interkonnessjoni inċiżjoni)
MTBC	Jissodisfa l-istandards ta' stabbiltà tal-produzzjoni tal-massa ta' 12-pulzier	Jallinja ma 'rekwiżiti bażiċi ta' stabbiltà fab ta '8 pulzieri	Sa 400 RF-h (stabbiltà mtejba għal produzzjoni b'-rendiment għoli)
Konformità Industrijali	Jikkonforma mal-istandards tal-produzzjoni tal-massa-semikondutturi għal linji IC BEOL ta' 12-il pulzier	Taqbel ma 'spazju fab IC ta' 8 pulzieri u talbiet ta 'spejjeż; kompatibbli mal-flussi tax-xogħol mainstream BEOL	Iddisinjat għal produzzjoni tal-massa IC ta' 8 pulzieri ta'-effiċjenza għolja; jissodisfa l-istabbiltà tan-nodi avvanzati u r-rekwiżiti tar-rendiment

FAQ

Q: Liema daqsijiet tal-wejfer jappoġġjaw is-sistemi?

A: Sistema ta '12-il pulzier: wejfers IC ta' 12-il pulzier (300mm); Sistemi ta '8 pulzieri: wejfers IC ta' 8 pulzieri (MES 800 kompatibbli ma '6 pulzieri permezz ta' ESC fakultattiv).

Q: Liema proċessi ewlenin ikopru?

A: L-appoġġ kollu Al interkonnessjoni/inċiżjoni tal-kuxxinett; Mudelli ta '8 pulzieri jżidu kompatibilità W Recess.

Q: X'inhi l-kapaċità ta 'kull xahar ta' mudelli ta '8 pulzieri?

A: MES 800: 8,000pcs (4μm Al); MES 800P: 20,000pcs (0.1μm Al).

Q: X'inhu l-MTBC ta 'MES 800P?

A: Sa 400 RF-h għal stabbiltà mtejba ta' rendiment għoli-.

It-tags Popolari: sistema ta 'inċiżjoni tal-metall, manifatturi ta' sistema ta 'inċiżjoni tal-metall taċ-Ċina, fornituri