Ħarsa ġenerali tal-prodott
Nice-Tech toffri żewġ sistemi ddedikati ta' inċiżjoni tas-silikon għal daqsijiet differenti ta' wejfer, it-tnejn ibbażati fuq teknoloġija ICP u mfassla apposta għall-produzzjoni tal-massa IC.
Sistema ta' 12-il pulzier (SES-12)
Iffoka fuq proċessi ta' 12-pulzier IC front-(FEOL). Magħmul minn kmamar ta 'inċiżjoni ICP u modulu ta' trasferiment, ikopri inċiżjoni tas-silikon, inċiżjoni dielettrika, inċiżjoni tal-bieb, riċess W, u SADP, iddisinjati għal disinji ta 'preċiżjoni għolja ta' apparat loġiku u memorja.
Sistema ta' 8 pulzieri (SES-8)
Sistema b'ħafna-chambers għal fabbriki ta' 8-pulzieri, iċċentrata fuq proċessi ta' gate. Jiżgura Inqas minn jew ugwali għal 5% fi ħdan-wejfer u wejfer-to-wafer etch uniformità, kontroll eċċellenti tal-partiċelli, u jappoġġja AA, STI, spacer, u W recess.
Vantaġġi
Kopertura Wiesgħa tal-Proċess
Aħna għandna żewġ setups ewlenin hawn. Is-sistema ta '12-il pulzier tieħu kull xorta ta' proċessi FEOL, l-ebda problema. Fir-rigward ta 'waħda ta' 8 pulzieri? Huwa ffokat fuq gate u proċessi relatati, u taqbel perfettament ma 'nodi 0.11μm u aktar.
Preċiżjoni Għolja & Stabbiltà
Preċiżjoni hija fejn dawn is-sistemi shine. Il-mudell ta' 12-pulzier jagħti uniformità tal-ogħla-saff u selettività tal-inċiżjoni - eżattament dak li jitolbu proċessi avvanzati. Il-verżjoni ta '8 pulzieri żżomm tagħha wkoll: devjazzjoni ta' uniformità baxxa, flimkien ma 'kontroll strett tal-partiċelli, sabiex tkun tista' toqgħod fuq riżultati konsistenti.
Mass-Produzzjoni u Effiċjenza tal--Spejjeż
L-aħjar minn kollox, it-tnejn huma lesti għall-produzzjoni tal-massa. It-12-pulzier huwa mibni għal-linji ta' produzzjoni fuq skala kbira, li jagħmel sens għal ġirjiet ta'-volum għoli. It-8 pulzieri, madankollu, huwa għażla intelliġenti jekk qed taġġorna l-kapaċità - tiffranka kemm l-ispazju kif ukoll l-ispiża, li dejjem hija vantaġġ għall-operazzjonijiet.
Applikazzjoni
IC FEOL Manifattura
Sistema ta '12-il pulzier għal proċessi FEOL ta' loġika/memorja ta '12-il pulzier; Sistema ta '8 pulzieri għall-inċiżjoni tal-bieb ta' 8 pulzieri.
Proċessi Avvanzati
Sistema ta '12-il pulzier tappoġġja riċess SADP/W; Is-sistema ta '8 pulzieri taħdem għal proċessi STI/spacer.
Aġġornament tal-Kapaċità
12-pulzier jintegra f'fabs kbar; 8-pulzier jipprovdi appoġġ kost-effettiv għal fabs medji żgħar.
Parametri
|
Kategorija |
Sistema ta 'inċiżjoni tas-silikon ta' 12-il pulzier |
Sistema ta 'inċiżjoni tas-silikon ta' 8 pulzieri |
|
Kompatibilità tal-wejfer |
Wejfers IC ta' 12-pulzier (300mm), personalizzati għal linji ta' produzzjoni tal-massa |
Wejfers IC ta '8 pulzieri; kompatibbli ma '0.11μm u nodi ta' teknoloġija avvanzata |
|
Konfigurazzjoni tal-Kamra |
Kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP + modulu tat-trasferiment |
Kmamar tal-inċiżjoni tal-ICP + modulu tat-trasferiment; disinn b'ħafna-kamra għall-produzzjoni tal-massa |
|
Kapaċitajiet Ewlenin tal-Proċess |
Inċiżjoni tas-silikon, inċiżjoni dielettrika, inċiżjoni tal-bieb, W recess, SADP |
Inċiżjoni tal-bieb, AA, STI, inċiżjoni tal-ispazjar, W recess |
|
Inċiżjoni Uniformità |
Kontroll tal-uniformità superjuri (jissodisfa standards avvanzati ta 'preċiżjoni tan-nodi) |
Inqas minn jew ugwali għal 5% fi ħdan-wejfer; Inqas minn jew ugwali għal 5% wejfer-għa-wejfer |
|
Kontroll tal-Partiċelli |
Kontroll strett tal-partiċelli għal rendiment għoli tal-prodott |
Kontroll tal-partiċelli eċċellenti għall-produzzjoni tal-massa stabbli |
|
Konformità Industrijali |
Adattat għal produzzjoni ta 'volum IC ta' 12-pulzier; jikkonforma mal-istandards tal-produzzjoni tal-massa tas-semikondutturi |
Disinn ottimizzat indipendenti; jaqbel ma 'spazju fab ta' 8 pulzieri u talbiet ta 'spejjeż għall-aġġornament tal-kapaċità |
FAQ
Q: Liema daqsijiet tal-wejfer jappoġġjaw iż-żewġ sistemi?
A: Is-sistema ta '12-il pulzier tappoġġja wejfers IC ta' 12-il pulzier (300mm), u s-sistema ta '8 pulzieri tappoġġja wejfers IC ta' 8 pulzieri.
Q: Liema proċessi ewlenin ikopru?
A: Is-sistema ta '12-il pulzier tkopri l-inċiżjoni tas-silikon, l-inċiżjoni dielettrika, SADP, W recess, eċċ.; is-sistema ta '8 pulzieri tiffoka fuq l-inċiżjoni tal-bieb u tappoġġja STI, inċiżjoni tal-ispazjar, eċċ.
Q: Liema nodi tat-teknoloġija huma kompatibbli magħhom?
A: Is-sistema ta '12-il pulzier tadatta għal nodi ta' teknoloġija avvanzata; is-sistema ta '8 pulzieri hija kompatibbli ma' 0.11μm u 'l fuq nodi avvanzati.
Q: Iż-żewġ sistemi huma adattati għall-produzzjoni tal-massa?
A: Iva. Is-sistema ta' 12-pulzier taqbel ma' linji ta' produzzjoni ta'-skala kbira, filwaqt li s-sistema ta' 8-pulzier tiffranka l-ispazju u hija kosteffettiva għall-produzzjoni tal-massa.
Q: X'inhi l-uniformità tal-inċiżjoni tas-sistema ta '8 pulzieri?
A: Għandu Inqas minn jew ugwali għal 5% fi ħdan-uniformità tal-wejfer u Inqas minn jew ugwali għal 5% wejfer-għal-uniformità tal-wejfer.
It-tags Popolari: sistema ta 'inċiżjoni tas-silikon, manifatturi tas-sistema ta' inċiżjoni tas-silikon taċ-Ċina, fornituri
