Ejja nkunu reali-l-għażla ta' forn ta' ttemprar mhix biss tiċċekkja l-kaxxi. Huwa dwar is-sejba ta 'xi ħaġa li taqbel mal-fluss tax-xogħol tiegħek, kemm jekk qed tpaxxi f'laboratorju kif ukoll jekk tħawwad wejfers 24/7. Għandna sitt mudelli RTP (Proċessar Termali Rapidu), kull wieħed mibni għal impjiegi speċifiċi, allura ejja nkissru kif nidħlu fuq dak li fil-fatt jaħdem għalik-mhux bil-maqlub.
L-ewwel: Nail Down il-Basics Li Jgħoddu l-aktar
Qabel ma titbaxxa fl-ispeċifikazzjonijiet, ibda bi tliet mistoqsijiet sempliċi. Dawn se jaqtgħu l-istorbju aktar malajr minn kull ħaġa oħra.
1. Kemm Qed Tagħmel, u X'Daqs Int Uża?
L-output u d-daqs tal-wejfer tiegħek mhumiex-negozjabbli-huma immedjatament jeskludu mudelli li ma jistgħux ilaħħqu jew jaqblu mal-partijiet tiegħek.
Per eżempju:
Jekk int laboratorju universitarju li tittestja materjali ġodda b'wejfers ta' 4-pulzieri (u għandek bżonn biss ftit fil-ġimgħa), it-tagħmir tad-Desktop RTP tagħna huwa perfett. Huwa massimu ta '6 pulzieri u joqgħod fuq bank tax-xogħol - ebda footprint ġgant meħtieġa.
Jekk qed tagħmel wafers ta' 8-pulzier (jiġifieri, 500 sa 2,000 fil-ġimgħa) għal produzzjoni ta' volum medju-, it-tagħmir RTP Semi-Awtomatiku jagħmel sens. Huwa jimmaniġġja 8-12-il pulzier u jnaqqas ix-xogħol manwali mingħajr l-ispiża ta 'awtomazzjoni sħiħa.
Għal ħwienet ta'-volum għoli (2,000+ wejfers fil-ġimgħa, daqs ta' 12-pulzier), tkun trid it-tagħmir RTP Awtomatiku jew tagħmir RTP ta' Ossidazzjoni f'Temperatura Għolja{-. L-Awtomatiku jaħdem 24/7 b'robots-ebda żball uman li jrażżan l-affarijiet.
Huwa sempliċi: Tixtrix forn ta' 12-pulzier jekk tuża biss wejfers ta' 6 pulzieri. Int ser taħli spazju u flus.
2. X'Qed Tippruva Tagħmel Eżattament?
Il-fran tagħna mhumiex poni-trick wieħed-imma huma ottimizzati għal xogħlijiet speċifiċi. Jekk għandek bżonn tkabbar films SiO₂ għal ċipep CMOS, taqbadx mudell mibni għal ittemprar ta'-sħana baxxa.
Hawn il-partita ta' malajr:
Tkabbir ta' films SiO₂ nodfa u densi (għal IGBTs jew MEMS)? Mur bit-tagħmir RTP ta' Ossidazzjoni b'Temperatura Għolja. Tolqot it-temp preċiż (600–1150 grad) u żżomm l-ossiġnu super baxx-kritiku għall-kwalità tal-film.
Ħtieġa li taqleb bejn ossidazzjoni, diffużjoni, u ttemprar (kollha f'magna waħda)? It-tagħmir RTP ta 'Ossidazzjoni u Diffużjoni huwa l-bniedem tiegħek. Għandu 1-4 tubi tal-proċess, sabiex tkun tista 'tmexxi żewġ xogħlijiet f'daqqa jekk ikollok bżonn.
Taħdem ma' optoelettronika (bħal VCSELs) li teħtieġ ittemprar ta'-sħana baxxa (250–500 grad)? It-tagħmir RTP ta' -Temperatura Baxxa huwa magħmul għal dan. Jevita l-ħruq ta' materjali delikati u jżomm il-partikuli isfel-ċavetta għall-prestazzjoni tal-apparat opto-.
Teħtieġ biss ittemprar bażiku (bħal touch-ups tal-impjantazzjoni tal-joni) għall-prototipi? Id-Desktop RTP jagħmel ix-xogħol mingħajr ma jikkomplika żżejjed l-affarijiet.
3. Liema Materjali Qed Taħdem Ma'?
Mhux il-fran kollha jilagħbu sbieħ ma 'kull materjal.
Aqbeż il-suppożizzjonijiet:
Silikon (għal ICs jew IGBTs standard)? Ħafna mill-mudelli jaħdmu, iżda t-tagħmir RTP ta 'Ossidazzjoni u Diffużjoni huwa kbir jekk għandek bżonn proċessi multipli.
Ħwejjeġ b'-bandgap wiesa' bħal SiC jew GaN (għall-moduli tal-enerġija EV)? It-tagħmir RTP ta' Ossidazzjoni u Diffużjoni jieħu ħsieb il-ħtiġijiet ta' sħana-għoli tagħhom (400–1200 grad), jew l-RTP ta' Ossidazzjoni ta' Temperatura-Għolja jekk qed tiffoka fuq films.
Niobat tal-litju (għall-optoelectronics)? Żomm mat-tagħmir RTP ta'-Temperatura Baxxa. Il-medda ta' 250–500 grad tagħha ma tagħmilx ħsara lill-materjal bħalma jagħmel mudell ta' sħana għolja-.
Li jmiss: Għaddas f'Specs Li Attwalment Iħallu Xogħol Tiegħek
Ladarba jkollok l-affarijiet bażiċi, wasal iż-żmien li tivverifika l-ispeċifikazzjonijiet li se jagħmlu jew ikissru l-proċess tiegħek. Taqbadx fuq kull numru-iffoka fuq dawn it-tlieta.
Kontroll tat-Temperatura: Ikseb it-Tajjeb, jew il-Partijiet Tiegħek Se Jbatu
Jekk il-proċess tiegħek jeħtieġ kontroll strett tat-temperatura, tikkompromettix. Per eżempju:
It-tagħmir RTP ta' -Temperatura Baxxa għandu żona ċatta ta' 860mm (dik hija ż-żona b'sħana konsistenti) - perfetta biex tiżgura li kull wejfer f'lott tingħata l-istess trattament.
It-tagħmir RTP ta' Ossidazzjoni b'Temperatura Għolja-jolqot preċiżjoni ta' ±0.5 grad-mhux- negozjabbli jekk tkun qed tikber films SiO₂ fejn anke bidla żgħira fit-temperatura tħassar il-kwalità.
Jekk taqleb bejn temperatura baxxa u għolja (jiġifieri, 500–1000 grad ), l-RTPs Semi-Awtomatiċi jew Awtomatiċi għandhom kontroll doppju: termokoppji għal temp aktar baxxi, pirometri għal dawk ogħla. Ebda aġġustamenti manwali meħtieġa.
Awtomazzjoni: Kemm Trid Tagħmel Xogħol?
L-awtomazzjoni mhix biss "fancy"-hija dwar konsistenza u veloċità.
Jekk int laboratorju b'persuna waħda li timmaniġġja l-kampjuni, it-tagħbija manwali (tagħmir RTP tal-Desktop) hija tajba. M'għandekx bżonn robots għal 10 wejfers fil-ġimgħa.
Għal volum medju, il-bieb tal-kamra awtomatika Semi-RTP awtomatika jiffranka l-ħin-li tgħabbi l-wejfer, tolqot il-bidu, u l-bieb jinfetaħ/jagħlaq waħdu. Inqas wieqfa madwar, inqas żbalji.
Ħwienet ta'-volum għoli? Ir-robots ta' l-RTP Awtomatiku jimmaniġġjaw it-tagħbija, l-allinjament u t-tkessiħ-apparti minn hekk jgħaqqdu mas-sistema ta' ġestjoni tal-produzzjoni tiegħek. Saħansitra għandha rata ta 'ksur tal-wejfer taħt 1 f'10,000. Jiswa l-investiment jekk il-waqfien jiswik il-flus.
Atmosfera: Żomm l-Impuritajiet Barra (Jekk Ikollok Bżonn)
Jekk il-proċess tiegħek huwa sensittiv għall-ossiġnu (bħal doping tas-semikondutturi), taqbeż dan.
L-RTPs Semi-Awtomatiċi u Awtomatiċi jżommu l-ossiġnu taħt 1 ppm-super nadif. Huma għandhom ukoll 6 MFCs (kontrolluri tal-fluss tal-massa) biex tweak taħlitiet tal-gass eżattament kif għandek bżonn.
It-tagħmir Desktop RTP huwa taħt 3 ppm-tajjeb biżżejjed għal xogħlijiet bażiċi, iżda mhux għal proċessi ultra-puri.
Jekk qed tagħmel sempliċi ossidazzjoni, 3 ppm hija tajba. Jekk qed tagħmel ċipep fejn anke impurità ċkejkna toqtol il-prestazzjoni, rebbiegħa għall-<1 ppm models.
Fl-aħħarnett: Tinsiex l-Imbarazz Prattiku
Anke l-aqwa forn ma jaħdimx jekk ma joqgħodx fl-ispazju jew fil-baġit tiegħek.
Spazju: Kejjel l-Ewwel, Ixtri Aktar tard
Laboratorju jew ħanut żgħir? L-RTP tad-Desktop huwa 910mm×860mm×695mm-madwar id-daqs ta' skrivanija kbira.
Faċilità medja? L-RTP Semi-Awtomatiku (mudell 8-pulzier) huwa 970mm×1550mm×2160mm-għadu maniġġabbli, iżda jkollok bżonn post apposta.
Fabbrika kbira? Il-mudell tal--kavità doppja tal-RTP Awtomatiku huwa 2100mm × 2450mm × 2200mm-kun żgur li għandek spazju biex tiċċaqlaq madwaru.
Sikurezza: Mhijiex -Negozjabbli (Imma Aħna Kopertuk)
Il-mudelli kollha tagħna jilħqu l-istandards SEMI S2-regoli tal-industrija għas-sikurezza. Iżda xi wħud għandhom vantaġġi żejda:
It-tagħmir Awtomatiku RTP għandu waqfien ta' emerġenza ta'-buttuna waħda u javżak għal sħana żejda jew tnixxijiet ta' ilma-kritiċi għal tħaddim 24/7.
It-tagħmir tal-RTP tad-Desktop għandu buzzers u dwal ta' twissija-sempliċi, iżda effettivi għal laboratorji fejn xi ħadd jista' jkun qed iwettaq diversi kompiti.
Għadha mwaħħla? Qegħdin Hawn biex Ngħinu
Ejja nkunu onesti-xi kultant ikollok bżonn titkellem permezz tagħha. Jekk int fuq l-ilqugħ (jiġifieri, tagħżel bejn Semi-Awtomatiku u Awtomatiku għal volum dejjem jikber), nistgħu:
Imxi fil-fluss tax-xogħol attwali tiegħek u kif tista' tiskala.
Urik demo ta’ kif mudell jimmaniġġja l-proċess speċifiku tiegħek.
Anke tweak mudell (bħaż-żieda ta 'tubi tal-proċess żejda) biex taqdi l-bżonnijiet tiegħek.
Aħna ma nbigħux "-daqs wieħed-għal-kulħadd"-aħna nbiegħu fran li jaħdmu għax-xogħol tiegħek. Kemm jekk qed tittestja materjali ġodda jew tmexxi linja ta 'produzzjoni, hemm mudell li huwa tajjeb għalik.
Sempliċement ikkuntattja lit-tim tat-teknoloġija tagħna-aħna ngħinuk issibha.
