Prinċipju Tekniku
Il-profilometru ottiku 3D prinċipalment jadotta żewġ teknoloġiji ottiċi:
1. Teknoloġija ta 'interferenza tad-dawl abjad: Billi tanalizza l-bidliet fil-fażi tat-truf ta' interferenza u tikkalkula d-differenza fl-għoli tal-wiċċ, għandha riżoluzzjoni lonġitudinali sub nanometru.
2. Teknoloġija konfokali: bl-użu tal-prinċipju tal-fokus konjugat tal-lenti oġġettiva, l-eżattezza tal-iffukar tilħaq 2nm, adattata għall-kejl ta 'uċuħ ta' inklinazzjoni għolja.
Qasam ta' Applikazzjoni
1. Manifattura ta 'preċiżjoni: Analiżi ta' Ħsara ta 'Ċipep Semikondutturi, Karatterizzazzjoni ta' Apparat MEMS.
2. Riċerka tal-materjali: Sejbien tal-korrużjoni ta 'metalli/plastiks, kejl tar-riflettività tal-film ottiku.
3. Ittestjar industrijali: Analiżi tal-ilbies ta 'komponenti tal-karozzi, evalwazzjoni tal-flatness ta' komponenti aerospazjali.
