Għajjien li tagħmir goff jieħu f'idejh il-laboratorju tiegħek jew l-ispazju ta' produzzjoni żgħir? Is-sistema RTP-100 desktop RTP hija mibnija għal wejfers żgħar (massimu ta' 6 pulzieri)-perfetta għal timijiet li jeħtieġu preċiżjoni mingħajr ma jissagrifikaw footage kwadru. Huwa sempliċi, affidabbli, u mfassal għall-ħtiġijiet ta 'kuljum tar-riċerkaturi u l-manifatturi ta' lottijiet żgħar.
Dak Inħobbu Dwaru
Taqbel bħal ingwanta: F'910 mm×860 mm×695 mm (W×D×H), tiżloq f'kantunieri stretti jew bankijiet tax-xogħol iffullati. M'hemmx għalfejn tirranġa mill-ġdid is-setup kollu tiegħek biss biex iżżid il-kapaċità tal-ipproċessar termali.
Kontroll tat-temperatura tista 'toqgħod fuqha: Żewġ modi kif tirregola s-sħana-termokoppja għal temperatura tal-kamra sa 800 grad u pirometru infra-aħmar għal 500 grad sa 1200 grad. Issaħħan wejfers sa 150 grad /s (ħafna aktar malajr milli b'SiC jew trasportaturi tal-grafita, li jilqgħu għal 20-30 grad /s). U l-konsistenza? Inqas minn jew ugwali għal ± 3 gradi uniformi taħt is-600 grad, Inqas minn jew ugwali għal ± 0.5% 'l fuq, flimkien ma' ± 1 grad ripetibbiltà-hekk ir-riżultati tiegħek ma jvarjawx lott għal lott.
Ebda-operazzjoni ta' ħarta: It-tagħbija/il-ħatt manwali jżomm l-affarijiet sempliċi (kbir jekk tippreferi l-idejn-fuq il-kontroll), filwaqt li buzzer u dwal ta’ twissija javżawk jekk xi ħaġa mitfija. Il-kontroll tal-PC jagħmel l-irfinar tal-parametri faċli, ukoll-l-ebda taħriġ ikkumplikat meħtieġ.
Ikopri l-affarijiet bażiċi (u mbagħad xi wħud): Mankijiet vakwu sa 30 mTorr, iżomm l-ossiġnu taħt 3ppm, u jappoġġja sa 4 kanali MFC. Kemm jekk qed tagħmel ittemprar tal-impjantazzjoni tal-joni, tkabbir tal-ossidu, jew trattamenti tas-sħana ta 'kampjuni żgħar, jiċċekkja l-kaxxi kollha għall-ipproċessar termali rapidu bażiku.
Għal min Huwa
Dan mhux għal-fabbriki fuq skala kbira-dan għat-teknoloġija tal-laboratorju li tmexxi esperimenti ta' kuljum, il-manifattur żgħir li jwettaq komponenti personalizzati, jew it-tim tar-riċerka li jittestja materjali ġodda. Jekk taħdem ma 'wejfers żgħar u teħtieġ riżultati konsistenti mingħajr il-battikata ta' tagħmir ta' daqs industrijali-, dan huwa għalik.
Għajnuniet ta 'malajr biex tużaha sewwa
Taqleb tal-modi tat-temperatura: Uża t-termokoppja għal temp sa 800 grad, u aqleb għall-infrared fis-softwer tal-PC għal xi ħaġa aktar sħuna. Is-sistema tikkalibra lilha nnifisha awtomatikament-mess sabiħ.
Tagħbija tal-wejfers: Taqbeżx l-ingwanti nodfa! Marki tas-swaba' jew riżultati rovina tat-trab. Immaniġġja bil-mod, mingħajr twaqqigħ, u kun żgur li jkun iċċentrat fuq it-trasportatur-passi sempliċi li jiffrankaw l-uġigħ ta' ras aktar tard.
Fixs komuni: Jekk il-buzzer jintefa mal-istartjar, l-ewwel iċċekkja jekk il-bieb tal-kavità huwiex imsakkar issikkat (ilkoll insejt dan!). Jekk ir-rata tat-tisħin mhix qed tolqot 150 grad /s, kun żgur li mhux qed tuża carrier-dawk inaqqsuha. U jekk il-wejfers tiegħek qed jossidaw għall-għarrieda, iċċekkja doppja-il-vakwu (għandu jkun Inqas minn jew ugwali għal 30 mTorr) u l-livelli tal-ossiġnu (żommu<3 ppm).
Manutenzjoni li tgħodd: Imsaħ il-kamra tal-kwarz bl-alkoħol kull ġimgħa-il-grime jinbena aktar malajr milli taħseb. Iċċekkja l-lampi kull 3 xhur (issostitwixxi wara 1000 siegħa) u ċ-ċrieki tas-siġillar kull xahar għal xquq. Oh, u tħallix li t-tkessiħ tal-ilma jmur aktar minn 70 grad -dan huwa mod rapidu biex tagħmel ħsara lill-partijiet.
A Workhorse Solidu
Iċċertifikata għall-istandards SEMI S2, din il-ħaġa hija mibnija biex iddum. M'għandux karatteristiċi żejda flashy li qatt ma ser tuża, iżda dwiefer l-essenzjali: preċiżjoni, kumpattezza, u faċilità ta 'użu. Għal-laboratorji u timijiet żgħar li għandhom bżonn soluzzjoni ta' pproċessar termali li taħdem, jum wara jum, l-RTP-100 huwa ta' xejn. Mhuwiex perfett (xejn mhu!), Imma huwa affidabbli-u dak hu li jgħodd meta tkun qed tipprova żżomm l-esperimenti jew il-produzzjoni fit-triq it-tajba.
