Jekk int fil-manifattura ta' semikondutturi jew ta'-elettronika ta' preċiżjoni għolja, taf kemm hu kritiku li jkollok tagħmir li jibbilanċja l-prestazzjoni, il-flessibilità u l-affidabbiltà. Din l-unità RTP (Proċessar Termali Rapidu) semi-awtomatika tiċċekkja dawk il-kaxxi kollha-u hija mfassla biex taqdi l-ħtiġijiet speċifiċi tal-produzzjoni li ħafna negozji u laboratorji jiffaċċjaw kuljum. Ejja nkissru fejn jiddi u min għandu jibbenefika l-aktar.
Xenarji Ewlenin Hija Teċċella Fihom
L-ewwel nett, dan it-tagħmir huwa mibni għal wejfers ta' 8-12-il pulzier-li jkopru l-aktar daqsijiet komuni fil-produzzjoni ta'-skala medja. Dak li verament jiddistingwiha hija l-kapaċità tagħha li timmaniġġja proċessi li jitolbu purità u preċiżjoni, bħall-ottimizzazzjoni tal-ITO u l-ittemprar tal-liga tas-siliċidu. Jekk ix-xogħol tiegħek jinvolvi ttemprar sensittiv għall-impurità, inti ser tapprezza l-kontenut ta 'ossiġnu taħt 1ppm, flimkien ma' MFC b'6 kanali biex tisselezzjona fl-atmosfera ta 'reazzjoni eżatta.
Hija wkoll versatili fejn tidħol pressjoni: aqleb bejn l-ipproċessar atmosferiku u bil-vakwu (sa 30mTorr) mingħajr battikata-kbir għal proġetti li jeħtieġu kundizzjonijiet ambjentali differenti. U għal produzzjoni ta'-volum medju, b'ħafna-lott? Jolqot bilanċ sabiħ: inti xorta tagħbija/ħatt wejfers manwalment (li huwa utli għal ġirjiet żgħar jew bidliet ta 'malajr), iżda l-bieb tal-kamra jiftaħ/jagħlaq awtomatikament ladarba jibda l-proċess. Dan inaqqas l-iżball uman u jżomm il-konsistenza għolja-mhux aktar riżultati żbaljati minn tħaddim manwali inkonsistenti.
Għal Min Huwa Dan it-Tagħmir
1. Manifatturi ta' semikondutturi żgħar-għa-medji: Jekk qed tagħmel produzzjoni ta'-skala medja u teħtieġ flessibilità mingħajr il-prezz ta' awtomazzjoni sħiħa, dan huwa għalik. Jaddatta għal daqsijiet differenti tal-wejfers u setups tal-proċess (grazzi għal konfigurazzjonijiet flessibbli tal-lampa u SCR) u jżomm il-manutenzjoni sempliċi.
2. Komponenti elettroniċi/manifatturi tas-sensuri: Il-kontroll tat-temperatura-għoli u preċiż (ripetibbiltà ta' ±1 grad!) mhuwiex-negozjabbli għal komponenti affidabbli-din l-unità tagħti dan, flimkien ma' karatteristiċi ta' sikurezza triplu biex iżommu l-operazzjonijiet bla xkiel.
3. Laboratorji tar-riċerka u universitajiet: Meta tkun qed tittestja materjali ġodda jew tottimizza l-proċessi (lottijiet żgħar, lottijiet ta 'parametri), il-firxa wiesgħa tat-temperatura (temperatura tal-kamra sa 1250 grad) u r-rati ta' tisħin aġġustabbli jaqblu dritt pulzieri Huwa preċiż biżżejjed għal data valida iżda flessibbli biżżejjed biex tweak setups fuq il-fly.
4. Fornituri ta 'servizz tas-semikondutturi personalizzati: Bil-klijenti li jitolbu specs differenti, għandek bżonn tagħmir li jista 'jbiddel il-gerijiet malajr. Dan l-RTP jimmaniġġa ħtiġijiet ta' proċessi varjati-minn atmosferiċi għal vakwu, trasportaturi differenti (SiC, grafit-SiC miksi)-mingħajr ma jitlef taħbit.
5. Negozji li jaġġornaw tagħmir antik/manwali: Jekk int għajjien b'riżultati inkonsistenti minn tagħmir manwali imma ma tridx tinvesti f'awtomazzjoni sħiħa, din hija triq tan-nofs intelliġenti. Huwa effiċjenti, konformi mal-istandards SEMI S2, u mhux se jkisser il-bank.
Bonus? Kwistjonijiet komuni (bħal glitches tal-bibien tal-kamra jew spikes tal-ossiġnu) għandhom soluzzjonijiet sempliċi-m'hemmx għalfejn tistenna speċjalista kull darba. U b'dik iċ-ċertifikazzjoni SEMI S2, m'għandekx għalfejn tinkwieta dwar li tissodisfa s-sikurezza tal-industrija u l-istandards ambjentali. Kollox ma' kollox, hija soluzzjoni bla-fuss, ta'-prestazzjoni għolja għal kull min jeħtieġ ipproċessar termali ta' preċiżjoni mingħajr il-kumplessità ta' sistemi kompletament awtomatizzati.
