Li jkopri l-wiċċ ta 'sottostrat bħal wejfer tas-silikon b'fotoreżist fotosensittiv ħafna, u mbagħad irradja l-wiċċ tas-sottostrat b'dawl speċifiku (ġeneralment dawl ultravjola, dawl ultravjola fil-fond, dawl ultravjola estrem) permezz ta' maskra li jkun fiha informazzjoni dwar il-mudell tal-mira, il-fotoreżist irradjat mid-dawl se jirreaġixxi. Għalhekk, iż-żona irradjata wara l-iżvilupp se tipproduċi effetti differenti miż-żona mhux irradjata (skond il-proprjetajiet tal-photoresist).
