Ħarsa ġenerali tal-prodott
Nizza -Tech MC150/MC200/MC300 serje tagħmir MOCVD jadotta l-mudell ta' injezzjoni tal-gass ta' showerhead vertikali akkoppjat mill-qrib-, b'vantaġġi inerenti ta 'uniformità epitassjali permezz ta' żennuni tal-gass ta 'sors imqassam ta' densità għolja- u distanza ta 'injezzjoni żgħira kontrollabbli. It-tliet mudelli huma ddisinjati b'daqsijiet differenzjati tal-kamra tar-reazzjoni għall-kapaċità tal-produzzjoni tal-gradjent, li jappoġġjaw il-konfigurazzjoni tas-sottostrat flessibbli u d-disinn personalizzat. Il-magna kollha għaddiet iċ-ċertifikazzjoni SEMI-S2 u SEMI{-S6, b'ċirkwiti tal-gass tas-sors MO sa 10 mogħdijiet u ċirkwiti tal-gass Hyd sa 6 mogħdijiet, adattati għat-tkabbir ta 'semikondutturi 2 sa 4 ġenerazzjoni u materjali bi-dimensjonali, li jkopru R&D, test pilota u xenarji ta' produzzjoni tal-massa.
Vantaġġi
1. Prestazzjoni Epitassjali Superjuri: Ga₂O₃ saff epitassjali fuq -wejfer ħxuna std 0.19%, materjali bbażati fuq InP/GaAs-b'konċentrazzjoni baxxa ta 'sfond u uniformità għolja ta' wavelength PL; kwalità eċċellenti tal-kristall bi tkabbir pass-tal-wiċċ epitassjali.
2. Adattabilità wiesgħa tal-Materjal: Kopertura sħiħa ta 'semikondutturi tat-2 sa 4 ġenerazzjoni u materjali bi-dimensjonali, apparat wieħed li jissodisfa ħtiġijiet multipli ta' tkabbir.
3. Flessibbli & Customizable: Konfigurazzjoni tas-sottostrat gradjent, ċirkwiti tal-gass li jistgħu jiġu aġġornati/banjijiet termostatiċi, funzjonijiet ta' monitoraġġ in{0}}situ fakultattivi, li jappoġġjaw customization personalizzata.
4. Sigurtà Għolja & Operazzjoni Faċli: Ċertifikati SEMI-S2/SEMI-S6; disinn umanizzat għal tħaddim u manutenzjoni sempliċi, tqassim raġonevoli taż-żona ta 'manutenzjoni.
5. Sistema ta 'Proċess Stabbli: Ċirkwit esklussiv tal-gass u konfigurazzjoni tal-banju termostatiku għal materjali differenti, kontroll MFC/PC ta '{0}}preċiżjoni għolja, li jiżgura proċess ta' tkabbir stabbli u preċiż.
Applikazzjonijiet
Tkabbir Materjali Semikondutturi: Kapaċi li tikber it-2 ġenerazzjoni (AlGaInAs, AlGaInP, InGaAsP), it-3 ġenerazzjoni (GaN, InGaN, AlN), is-semikondutturi tar-4 ġenerazzjoni (Ga₂O₃) u materjali b'żewġ -dimensjonali (graphene, MoS₂, WSe₂).
Oqsma tat-Terminal: Applikata biex tipprepara materjali ta 'film irqiq għal apparati ta' enerġija, ċelloli solari, VCSEL, dawl, wiri u komunikazzjoni ottika, u użata f'vetturi tal-enerġija ġodda, stazzjonijiet bażi 5G, ġenerazzjoni ta 'enerġija fotovoltajka/riħ, radar u komunikazzjoni bis-satellita, eċċ.
Tqabbil ta' Xenarju: MC150 għal R&D tal-laboratorju, MC200 għal produzzjoni ta' lott-medja, MC300 għal produzzjoni tal-massa industrijali fuq skala kbira-.
Parametri
|
Indiċi |
MC150 |
MC200 |
MC300 |
|
Daqs taż-Żona ta' Manutenzjoni (mm) |
6200*2900 |
7680*3900 |
7680*3900 |
|
Konfigurazzjoni tad-Daqs tas-Sustrat |
6x2", 1x4", 1x6" |
12x2", 3x4", 1x6", 1x8" |
19x2", 5x4", 3x6", 1x8", 1x12" |
|
Ċertifikazzjoni tas-Sigurtà Core |
SEMI-S2, SEMI-S6 |
||
|
Ċirkwiti tal-Gass Sors Max MO |
10 mogħdijiet |
||
|
Ċirkwiti tal-gass Max Hyd |
6 mogħdijiet |
||
|
Banjijiet Termostatiċi Max |
/ |
6 kbar jew 8 żgħar |
6 kbar jew 8 żgħar |
|
Funzjoni ta' Monitoraġġ Standard |
Riflettività/temperatura fil-{0}}monitoraġġ fuq il-post (R/T) |
||
|
Funzjonijiet Core Fakultattivi |
Funzjoni tas-saqaf, Gap tal-Proċess aġġustabbli (5~25mm), warpage in-monitoraġġ fuq il-post (C), konċentrazzjoni tas-sors MO fuq-monitoraġġ tal-linja |
||
|
Prestazzjoni Tipika tal-Proċess (Ga₂O₃) |
Fuq-wejfer ħxuna std 0.19%; 500nm ħxuna -Ga₂O₃ wiċċ RMS 0.254nm |
||
|
Prestazzjoni Tipika tal-Proċess (ibbażat fuq InP/GaAs-) |
PL wavelength distribuzzjoni std baxx daqs 0.014%; konċentrazzjoni baxxa fl-isfond, mobilità għolja |
||
|
Xenarju Applikabbli |
R&D tal-laboratorju, test pilota ta'-lott żgħir |
Produzzjoni medja-lott, test pilota industrijali |
Produzzjoni tal-massa industrijali fuq skala kbira- |
|
Kontroll taċ-Ċirkwit tal-Gass |
MFC/PC ta'-preċiżjoni għolja għaċ-ċirkwiti kollha tal-gass |
||
FAQ
Q: Liema materjali jista 'jikber it-tagħmir?
A: 2nd/3rd/4th -gen semikondutturi (AlGaInAs, GaN, Ga₂O₃, eċċ.) u materjali 2D (graphene, MoS₂, WSe₂).
Q: Liema ċertifikazzjonijiet tas-sigurtà għandu?
A: SEMI-S2, SEMI-S6 iċċertifikat.
Q: Is-sistema tal-gass/temperatura tista 'tiġi aġġornata?
A: Iva. Max 10 mogħdijiet tal-gass MO, 6 mogħdijiet tal-gass Hyd; MC200/300 jista 'jżomm sa 6 banjijiet termostatiċi kbar/8 żgħar.
Q: Liema funzjonijiet ta 'monitoraġġ huma disponibbli?
A: Standard: R/T in{0}}monitoraġġ fil-post; Fakultattiv: monitoraġġ tal-warpage, Gap tal-Proċess aġġustabbli, monitoraġġ onlajn tal-konċentrazzjoni MO.
Q: Il-prestazzjoni tal-proċess prinċipali jenfasizza?
A: Ga₂O₃: fuq -wejfer ħxuna std 0.19%, wiċċ RMS 0.254nm (500nm); InP/GaAs: PL std 0.014%, konċentrazzjoni baxxa fl-isfond.
Q: Huwa appoġġjat disinn personalizzat?
A: Iva, sottostrat personalizzat, moduli tal-gass/temperatura u funzjonijiet ta 'monitoraġġ huma disponibbli.
It-tags Popolari: sistema mocvd standard, manifatturi ta 'sistema mocvd standard taċ-Ċina, fornituri
