Daqs minimu tal-karatteristika
Dimensjoni Kritika Minima (CD):
Id-daqs minimu tal-karatteristika, magħruf ukoll bħala d-daqs nofs pitch, huwa wieħed mill-aktar parametri importanti għall-kejl tal-prestazzjoni tal-magni tal-litografija.
Fosthom, hija kostanti li tvarja fi skemi litografiċi differenti, fejn λ huwa l-wavelength tas-sors tad-dawl tad-dħul u NA hija l-apertura numerika tas-sistema ottika tal-magna tal-litografija. Għal kostanti, bħalissa l-magna tal-litografija DUV ta 'ASML fl-Olanda tista' tikseb massimu ta 'madwar 0.25, filwaqt li EUV għadu madwar 0.35. Iktar ma jkun żgħir il-wavelength tas-sors tad-dawl tad-dħul, iżgħar ikun il-proċess attwali tal-fotolitografija li jista 'jitwettaq. Għall-apertura numerika NA, il-limitu ta' fuq ta' dan il-valur huwa ġeneralment 1.0 għal skemi DUV li ma jixxarrux u madwar 1.35 għal skemi DUV li jxarrbu. Meta mqabbla mal-litografija li ma tgħaddix, il-magni tal-litografija tal-immersjoni jużaw likwidu addizzjonali għar-rifrazzjoni waqt il-litografija, ġeneralment ilma pur b'indiċi refrattiv ta 'madwar 1.33. Din hija wkoll ir-raġuni għaliex il-magni tal-litografija tal-immersjoni għandhom NA akbar.
Preċiżjoni tal-inċiżjoni
Preċiżjoni overlay: L-eżattezza tal-allinjament bejn il-mudelli tal-maskra u tal-wejfer.
It-tifsira bażika tirreferi għall-eżattezza tal-allinjament tal-mudelli bejn iż-żewġ proċessi fotolitografiċi. Jekk id-devjazzjoni tal-allinjament hija kbira wisq, se taffettwa direttament ir-rendiment tal-prodott.
Tolleranza ta' espożizzjoni
Latitudni ta 'espożizzjoni: Latitudni ta' espożizzjoni, magħrufa wkoll bħala marġini ta 'espożizzjoni, hija waħda mill-parametri importanti tat-tieqa tal-proċess. Is-sistemi ta 'espożizzjoni ottika jistgħu jiffurmaw firxa ta' enerġija ta 'espożizzjoni li tissodisfa r-rekwiżiti tat-tqassim tad-disinn. Normalment hija definita mill-firxa tal-għażla tal-enerġija tal-espożizzjoni fi ħdan ± 10% tal-bidla fil-valur CD misjuba mir-riżultat tal-espożizzjoni. Jekk il-wisa 'tal-linja tal-mudell espost tinbidel relattivament ftit meta l-fotoreżistenti tiddevja mid-doża ottimali ta' espożizzjoni, tindika li l-fotoreżist għandu tolleranza ta 'espożizzjoni kbira. Iktar ma tkun kbira t-tolleranza tal-espożizzjoni, akbar tkun it-tolleranza tal-iżvilupp.
It-tolleranza tal-espożizzjoni u l-kuntrast tal-immaġni tal-projezzjoni huma relatati mill-qrib. Jekk id-daqs tal-karatteristika tal-immaġni pproġettata għandu kuntrast fqir tal-immaġni, ikun sensittiv wisq għall-bidliet fid-doża
